近日，由落户于我院机械制造所的扫描探针显微镜（SPM）标准化工作组秘书处组织的SPM标准体系研讨暨标准宣贯讨论会在上海举行，SPM标准化工作组成员、相关技术领域专家学者近20人出席会议。

扫描探针显微镜是国际上近年发展起来的表面分析仪器，是综合运用光电子技术、激光技术、微弱信号检测技术、精密机械设计和加工及高分辨图形处理技术等现代科技成果的光、机、电一体化的高科技产品，广泛应用于半导体、超高精密加工、生物医药、新材料等高科技领域。

会上，专家介绍了扫描探针显微镜技术的发展现状，并就SPM在半导体行业的应用做了研究报告。会议讨论了在研的标准课题，其中包括我院牵头的国际标准采标项目《表面化学分析词汇第2部分：扫描探针显微术》，该课题作为扫描探针显微术领域基础标准之一，其术语标准的采纳实施将全面规范扫描探针显微技术的专业表述和相关定义，为技术拓展和应用开发的有序进行提供标准支撑。

本次会议从技术、制造和应用等角度出发，紧紧围绕标准化工作组的职责，推进SPM标准化课题，引领半导体、生物医药等产业发展与国际标准接轨，从整体上提升我国的纳米检测技术水平。