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面向精密测量前沿 协同再创领域佳绩
发布日期:2018-06-12 15:20 浏览次数:

2018年6月6日,国家杰出青年科学基金获得者、华中科技大学机械学院“数字制造装备与技术”国家重点实验室刘世元教授来我院开展技术交流。我院机械制造所负责人和相关技术人员参加了交流活动。

会上,机械制造所负责人介绍了在计量前沿领域研究、团队建设、重大项目申报等方面的发展状况,结合融入上海科创中心建设,服务国家重点战略领域,介绍了纳米计量团队、复杂大尺寸计量团队在微纳米关键参数计量方法、大尺寸动态空间参数计量方法等方面的研究工作,并重点介绍了我院承担的国家重大仪器开发专项的进展与阶段性成果。刘世元教授充分肯定了我院在精密测量研究领域与团队建设中的前瞻性,并对国家仪器开发专项在微纳米测量方法研究与跨尺寸、多测头、高精度微纳米测量仪的开发成果给予了高度评价。随后,双方就国家重大仪器开发专项后续产业化、市场化推广工作进行了深入探讨。并针对集成电路制造中的薄膜参数的测试与计量需求、航空航天领域中的薄膜计量需求开展了深入交流,并一致表达了协作开展相关研究领域项目的合作意向。

会后,刘世元教授及团队成员参观了机械制造所相关实验室。

面向精密测量前沿 协同再创领域佳绩

信息来源:机械所 时间: 2018 -06 -12

2018年6月6日,国家杰出青年科学基金获得者、华中科技大学机械学院“数字制造装备与技术”国家重点实验室刘世元教授来我院开展技术交流。我院机械制造所负责人和相关技术人员参加了交流活动。

会上,机械制造所负责人介绍了在计量前沿领域研究、团队建设、重大项目申报等方面的发展状况,结合融入上海科创中心建设,服务国家重点战略领域,介绍了纳米计量团队、复杂大尺寸计量团队在微纳米关键参数计量方法、大尺寸动态空间参数计量方法等方面的研究工作,并重点介绍了我院承担的国家重大仪器开发专项的进展与阶段性成果。刘世元教授充分肯定了我院在精密测量研究领域与团队建设中的前瞻性,并对国家仪器开发专项在微纳米测量方法研究与跨尺寸、多测头、高精度微纳米测量仪的开发成果给予了高度评价。随后,双方就国家重大仪器开发专项后续产业化、市场化推广工作进行了深入探讨。并针对集成电路制造中的薄膜参数的测试与计量需求、航空航天领域中的薄膜计量需求开展了深入交流,并一致表达了协作开展相关研究领域项目的合作意向。

会后,刘世元教授及团队成员参观了机械制造所相关实验室。

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