近日，我院机械制造所微纳米创新团队科研骨干赴德国布伦瑞克德国联邦物理技术研究院（PTB）参加由PTB、欧洲标准计量协会（EURAMAT）主办的第八届纳米尺度校准标准和方法研讨会（NanoScale2019）。

NanoScale2019会议的主题是“微纳米尺度几何量及相关测量”，来自超过20个国家和地区的纳米计量技术的研究专家和团队参加了此次会议。会议涉及与纳米计量密切相关最新理论、技术和应用，安排了通用检测技术、计量方法和校准、仪器科学、纳米机械、纳米颗粒、测量应用等多个主题，给各国参会人员搭建了十分自由、开放与充分的学术分享和交流平台。英国NPL、德国PTB、日本NMIJ、荷兰NMi等国家计量研究机构的科学家以及相关高校、研究院所分别分享了其在计量型SPM仪器开发、纳米线宽校准、纳米粗糙度测量和新型纳米标准物质制备工艺与检测技术等方面的最新研究成果。

我院微纳米创新团队投稿的《A statistical method for pitch measurement and evaluation（一种基于统计的线宽测量和评价方法）》以墙报形式在会上展出，团队就该论文与参会国内外专家进行了交流和探讨，听取了包括NPL、PTB和NMIJ等多位资深学者的意见。

会议期间，我院科研骨干与PTB纳米几何量计量-纳米线宽测量实验负责人戴高良博士会面并进行了深入切实的交流。双方总结了前期合作的自溯源标准样板校准检测工作，分享了双方在纳米三维计量方面的主要工作，并确定了下一步的联合研究方向。