Atomic Force Microscope (AFM)

品牌型号
      Veeco MultiMode / Dimension 3100

仪器简介

      Veeco MultiMode原子力显微镜是世界上分辨率最高，使用最广泛的扫描探针显微镜，功能强大的软件系统和紧凑的硬件结构，使得MultiMode可以轻松获取从微米尺度到原子尺度的图像数据。
      通过NANOSCOPE IIIA 控制器运作，控制器集先进的摸拟电路和数字电路设计于一身，附以功能强大的实时软件系统，具备出色的多任务控制能力。压电扫描管在每个轴向上都提供了全部16位的高分辨率，控制电路使用户可以在100微米到几个纳米的范围内进行成像的缩放。控制器还采用了Veeco专利的 Quadrex 技术，具有定量相位测量能力。

主要技术参数
      ※ 常规测量模式：接触模式、轻敲模式、抬起模式、非接触模式、横向力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)、力曲线测量
      ※ 扩展测量模式：扫描隧道显微镜(STM)、液体环境工作模式
      ※ 扫描范围：12um×12um×2.5um
      ※ 样品尺寸：10mm×10mm×2mm
      ※ 噪声水平：≤0.3Å
      ※ 光学辅助观察系统：450倍放大，分辨率1.6um，带彩色CCD摄像头

配件及探针

      ※ STM扫描头：提供扫描隧道显微镜功能。

 
      ※ 液体槽：提供液体环境工作模式。
      ※ RTESP7探针：硅针尖，主要应用于轻敲模式的形貌测试
      ※ NP-20探针：氮化硅针尖，主要应用于接触模式及力曲线测试
      ※ MESP探针：硅针尖表面铬涂层，主要应用于MFM、EFM的测试
      ※ PT探针：铂铱针尖，主要应用于STM的测试

仪器简介

       Veeco Dimension 3100原子力显微镜，可用来测量直径可达200毫米的半导体硅片、磁介质、光学材料和其它样品的表面特性。它的激光点定位系统和无需工具改变扫描技术的能力保证了仪器的适用性和高的数据处理能力。
       通过NANOSCOPE IIIA 控制器运作，控制器集先进的摸拟电路和数字电路设计于一身，附以功能强大的实时软件系统，具备出色的多任务控制能力。压电扫描管在每个轴向上都提供了全部16位的高分辨率，控制电路使用户可以在100微米到几个纳米的范围内进行成像的缩放。控制器还采用了Veeco专利的 Quadrex 技术，具有定量相位测量能力。

主要技术参数
      ※ 常规测量模式：接触模式、轻敲模式、抬起模式、非接触模式、横向力显微镜(LFM)、磁力显微镜(MFM)、静电力显微镜(EFM)、力曲线测量
      ※ 扩展测量模式：扫描电容显微镜(SCM)
      ※ 扫描范围：125um×125um×6um
      ※ 样品尺寸：150mm×150mm×25mm
      ※ 噪声水平：≤0.5Å

配件

      ※ SCM模块：提供扫描电容显微镜功能。
      ※ RTESP7探针：硅针尖，主要应用于轻敲模式的形貌测试
      ※ NP-20探针：氮化硅针尖，主要应用于接触模式及力曲线测试
      ※ MESP探针：硅针尖表面铬涂层，主要应用于MFM、EFM、SCM的测试