激光干涉仪主要是以迈克尔逊干涉仪为主,并以稳频氦氖激光为光源,构成一个具有干涉作用的测量系统。
测量范围为(0~40)m,测量不确定度:U=0.01+0.1×10-6L (k=3)
激光干涉仪可用于线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作。