近日，上海市计测院微纳米计量与仪器研发创新团队的“基于光学探针干涉的三维微接触测量机理及技术研究”项目，经申报获2022年度国家自然科学基金青年科学基金项目资助。

国家自然科学基金青年科学基金项目坚持支持基础研究，注重培养青年科技人员独立主持科研项目、进行创新研究的能力，激励青年科技人员的创新思维，培育基础研究后继人才。

项目拟提出一种基于光学探针干涉的三维微接触测头模型。利用探针干涉高灵敏度、高精度的传感特性，寻求建立基于该方法的测头传感机理及位移传递机制；设计三轴测量力一致的悬挂结构，实现三轴分辨力、刚度各向同性的三维微接触测头开发。

我国装备制造要由中低端向中高端迈进，核心关键是解决超精密测量能力问题。项目研制成功后，将在测头传感机理和位移传递机制方面取得创新成果。突破微纳测头刚度、分辨力各向同性等关键技术难题；解决半导体、航空航天、精密制造中高深宽比、自由曲面、侧壁及边沿等复杂微结构的测量和表征问题。将满足微纳制造中不断缩小的特征尺寸与不断提高的测量精度的趋势要求，对推动微纳坐标测量技术发展具有重要意义。