近日，我院在线检测与控制技术重点实验室联合蔡司中国举办先进几何计量技术研讨会，参会专家来自全国各级计量院所与半导体领域高新企业，我院受邀派员参加。

会上，院机械所参会人员介绍我院发展历程与机构架构，针对精密测量技术测量精度、测量速度等关键技术提升以及精密测量仪器研制、应用问题展开详细探讨。同时，介绍我院精密测量检测覆盖领域和业务情况，分享使用高精度三坐标测量机、无损检测工业CT机进行高精度几何量检测典型案例。参会专家围绕上海市三大先导产业、六大支柱发展需求及面临的问题，重点分析集成电路产业发展中几何量计量技术关键应用和挑战。

此次技术研讨，为我院更好掌握上海重点产业发展计量测试动态、需求提供平台，提升我院在精密测量领域知名度。后续，我院将加强与各单位产学研合作，促进科研成果转化，推动集成电路等高精密制造领域测量技术突破，为上海市科技创新建设贡献力量。