近日，我院机械所雷李华博士带领院精密几何量创新团队申报的上海市2025年度基础研究计划“集成电路”项目“皮米级三维直接溯源原子力显微技术研究”顺利获得上海市市科委立项。

该项目是我院首次获批的基础研究领域集成电路项目，为我院服务国家战略产业开辟新途径。项目聚焦皮米级三维直接溯源原子力显微技术，通过开发用于大深宽比订制针尖的控制方法，制定扫描策略，实现精确矢量运动控制下的矢量扫描，满足先进制程中复杂纳米结构、大深宽比结构的测量需求，研究直接溯源性方法，提高测量精度、可靠性，以开发基于AFM的三维纳米结构量程方法为目标，为集成电路高端制造领域发展提供技术支撑。

近年来，我院聚焦国家集成电路产业发展中的关键计量技术难题与关键共性技术瓶颈，先后牵头承担国家重点研发计划、国家自然科学基金面上项目等多个重大专项，在纳米测量仪器、标准样板、测量方法与规范等领域填补多项空白，显著提升我院在高精密纳米计量检测技术、纳米几何关键零部件及超精密纳米计量检测系统研发等重点领域综合实力。未来，我院将始终以服务国家战略需求为核心使命，关注科技前沿，扎根科技创新，持续强化科研能力，为国家及行业高质量发展贡献坚实力量。